説明
技術的なパラメーター
四フッ化炭素 (CF₄) は、安定した化学的性質を持つフッ素含有化合物です。-最長 50,000 年間大気中に残り、温室効果が高く、環境に優しくありません。炭化水素製品はCF4の代替品として使用できます。
CF4 は、シリコン、二酸化シリコン、窒化シリコンなどの薄膜材料上に微細回路を製造する際のプラズマ エッチング ガスとして使用されます。沸点が非常に低い（-128 度）ため、超電導研究、極低温手術、赤外線検出装置の冷却に適しています。また、金属製錬（アルミニウムやステンレス鋼など）の保護ガスとして、またプラスチック産業では合成添加剤としても使用されます。
CF₄ は無毒で非引火性です。-しかし、高濃度では酸素分圧が低下し、窒息（めまいや昏睡などの症状）を引き起こす可能性があります。 CF4 は熱源から離して保管し (保管温度は 30 度以下)、可燃性物質や酸化剤との混合を避けてください。シリンダー内の CF4 は、物理的衝撃を防ぐためにゴムリングで保護する必要があります。
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