カーボンテトラフルオリドCAS 75-73-0
製品名：テトラフルオリド炭素炭素炭素ガステトラフルオロメタンペルフルオロカーボン
製品グレード：分析グレード
製品の純度：99.999％
パッケージ仕様：40L
中国語名：炭素テトラフルオリド
中国のエイリアス：テトラフルオロメタン
CAS：75-73-0
einecs：200-896-5
分子式：CF4
分子量：88
物理的および化学的特性： - 融点：-184程度
テトラフルオリド炭素は、マイクロエレクトロニクス産業で最も広く使用されているプラズマキャンドル彫刻ガスです{.高純度ガスと高純度の炭素四重葉ガスの混合物. .}
1.シリコン、二酸化シリコン、窒化シリコン、リンシリコンガラス、タングステンシリコンガラス、タングステン薄膜材料のキャンドル彫刻に広く使用できます。シリコンおよびシリコンジオキシド系の場合、CF 4- h2 reacive estive eetcent for esting a secive a secive for esting a a suctive eet a secing a secing a a fas a secuent for cfを使用すると、. . . 45：1の選択性を取得できます。これは、Polysilicon Gates .で二酸化シリコンフィルムをエッチングする場合に非常に役立ちます。
2.また、電子デバイス表面洗浄、太陽電池の生産、レーザー技術、気相断熱材、低温冷蔵、低温断熱材にも広く使用されています。
漏れ検出剤、宇宙ロケット態度の制御、および印刷回路生産における除染剤.
3.その非常に強力な化学物質の安定性により、CF4は金属製錬やプラスチック産業でも使用できます.
4.テトラフルオリド炭素は良好な酸素溶解度を持っているため、科学者が超深度ダイビング実験で通常の圧縮空気を置き換えるために使用されています.マウスでは、275から366メートルの深さで安全に安全に逃げることができます.
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