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99.999% 5Nフッ化炭素CF4

99.999% 5Nフッ化炭素CF4、半導体電子特殊ガス産業は高い技術的障壁を持っています。半導体電子特殊ガスの製造プロセスには、合成、浄化、混合ガスの準備、充填などの多くのプロセス技術が含まれます......

リリース時間：2025-04-26

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99.999% 5Nフッ化炭素CF4、半導体電子特殊ガス産業は高い技術的障壁を持っています。半導体電子特殊ガスの製造プロセスには、合成、浄化、混合ガスの準備、充填、分析、テスト、ガスボンベの取り扱いなど、多くのプロセス技術が含まれます。各ステップには、厳格な技術的パラメータ要件と品質管理措置があります。半導体デバイスの品質と歩留まりを確保するために、特殊ガス製品は「超純粋」と「超クリーン」の要件を同時に満たす必要があります。「超純粋」では、ガスの純度が4.5N、5N、さらには6N、7Nに達する必要があります (NはNineの略語であり、いくつかのNといくつかの9があります。「ウルトラクリーン」には、粒子と金属不純物の含有量を厳密に管理する必要があります。特殊ガスのパラメータとして、純度が1 N増加するたびに、粒子と金属不純物の濃度が1桁減少するたびに、プロセスの複雑さと難しさが増加します。

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