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四フッ化炭素CAS 75-73-0

四フッ化炭素は、マイクロエレクトロニクス業界で最も広く使用されているプラズマキャンドル彫刻ガスです。これは、高純度ガスと高純度四フッ化炭素ガスと高純度酸素の混合物です。...

リリース時間：2025-04-26

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四フッ化炭素CAS 75-73-0

製品名: 四フッ化炭素四フッ化炭素ガス四フッ化メタンパーフルオロカーボン

製品グレード: 分析グレード

製品純度: 99.999%

包装仕様: 40L

中国名: 四化

中国のエイリアス: 四甲

CAS: 75-73-0

EINECS: 200-896-5

分子式: CF4

分子量: 88

物理的および化学的特性:-融点: -184 ℃

四フッ化炭素は、マイクロエレクトロニクス業界で最も広く使用されているプラズマキャンドル彫刻ガスです。高純度ガスと高純度四フッ化炭素ガスと高純度酸素の混合物です。

1。シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンシリコンガラス、タングステン薄膜材料のキャンドル彫刻に広く使用できます。シリコンと二酸化ケイ素のシステムでは、CF4-H2反応性イオンエッチングを使用する場合、2つのガスの比率を調整することにより、45:1の選択性を得ることができます。これは、ポリシリコンゲート上で二酸化シリコン膜をエッチングするときに非常に役立ちます。

2. また、電子デバイスの表面洗浄、太陽電池の製造、レーザー技術、気相絶縁、低温冷凍、

漏れ検知剤にも広く使用されています。宇宙ロケットの姿勢の制御、およびプリント回路の生産における除染剤。

3. CF4は化学的安定性が非常に強いため、金属製錬やプラスチック産業でも使用できます。

4。四フッ化炭素は酸素溶解度が高いため、科学者は超ディープダイビング実験で通常の圧縮空気を置き換えるために使用します。マウスでの使用に成功しており、マウスは275〜366メートルの深さで安全に逃げることができます。

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