電子グレードの六フッ化硫黄SF6は、高電圧および中電圧電気機器の絶縁材料およびアーク還元媒体として広く使用されています。金属製錬および製造プロセスにおける酸化防止剤、冷凍プロセスにおける気象トレーサー、冷媒および熱キャリア。医療では、X線装置の絶縁ガスとして使用されます。また、単結晶シリコンの一次基礎理論科学研究などの製造にも使用できます
六フッ化硫黄遮断器の消火ガスとして使用され、相互コンダクタンスセンサー、および六フッ化硫黄避雷針。
マグネシウム-アルミニウム合金ダイカストの保護ガスとして使用されます。
電子グレード高純度六フッ化硫黄SF6は理想的な電子エッチングですガスはマイクロエレクトロニクス技術の分野で広く使用されています。
光ファイバーの製造における単膜光ファイバーの分離層のドーパントとして使用されます。
大気汚染モニタリングおよび水文地質学的検出の分野でトレーサーとして使用されます。
肝臓腫瘍の超音波造影検査の造影剤としても使用されます。