四フッ化炭素とも呼ばれるテトラフルオロメタンは不燃性ガスですが、暑い時期には容器内の圧力が上昇し、ひび割れや爆発の危険があります。火がある場合は、水を噴霧して容器を冷却し、可能であれば、容器を開いた場所に移動します。四フッ化炭素の主な用途は、集積回路用の低温冷媒およびプラズマドライエッチング技術としてです。通常それは鋼鉄シリンダーで包装され、運ばれます。
テトラフルオロメタンの下流生成物は、シリコンフィルム材料、二酸化シリコンフィルム材料、窒化シリコンフィルム材料、リンシリコンガラスフィルム材料、タングステンフィルム材料およびその他のフィルム材料、電子デバイス表面洗浄剤、太陽電池、洗剤、潤滑油、ブレーキ液、そして安全な自己爆発防止のドライパウダー消火器。
現在、テトラフルオロメタンCF4の合成には、アルカンの直接フッ素化、クロロフルオロメタンのフッ素化、ヒドロフルオロメタンのフッ素化、フルオロカーボンの直接合成など、4つの方法があります。アルカンの直接フッ素化は、フルオロアルカンを調製するために業界で使用される最も初期の方法ですが、反応は非常に発熱性が高く、制御が困難であり、特別な対策を講じる必要があります。
通常、テトラフルオロメタンは可燃物から離れた冷気のある環境に置き、保管温度は30度を超えないようにしてください。そしてそれは酸化剤とは別に保存されるべきです。CF4に代表されるペルフルオロメタンは、マイクロエレクトロニクス業界でプラズマエッチングガスとして広く使用されており、世界的な需要が高まっており、市場の見通しは良好です。
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